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衬底电学性能决定了下游芯片功能与性能的优劣，为使材料能满足不同芯片的功能要求，需要制备电学性能不同的碳化硅衬底。
按照电学性能的不同，碳化硅衬底可分为高电阻率的半绝缘型碳化硅衬底，和低电阻率的导电型碳化硅衬底。